| 发明名称 |
APPLYING A SI COATING TO CARBON BY ETCHING FOLLOWED BY FILLING VACANT INTERSTICES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
AU562046(B2) |
申请公布日期 |
1987.05.28 |
| 申请号 |
AU19850047670 |
申请日期 |
1985.09.18 |
| 申请人 |
AIR PRODUCTS AND CHEMICALS INC |
发明人 |
ROBERT A. HOLZL;ROBERT E. BENANDER;BENJAMIN H. TILLEY |
| 分类号 |
C04B41/85;C04B41/50;C04B41/52;C04B41/53;C04B41/87;C04B41/89;C04B41/91;C09K13/10;C23C8/28;C23C8/80;C23C16/02;C23C16/24;C23C16/28;C23C16/32;C23C16/34;C23C16/38;C23C16/40;(IPC1-7):C23C10/22;C23C2/02;C23C10/02;C23C14/02 |
主分类号 |
C04B41/85 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
