| 摘要 |
Cet ensemble comporte un panneau vertical (1) séparant l'atelier en une zone de propreté moyenne (2) et une zone de propreté maximum (3), une cuve allongée (4) dans la zone (2) et une enceinte (6) insérée dans une ouverture (5) du panneau (1); les tubes sont nettoyés et pré-rincés dans la cuve (4), puis rincés et séchés dans l'enceinte (6), qui sert également de sas pour le transfert de tubes entre les zones (2) et (3). Application à la réalisation de circuits intégrés . |
