发明名称 FILM-MOUNTED CIRCUIT AND METHOD FOR ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 EP0193128(A3) 申请公布日期 1987.05.27
申请号 EP19860102265 申请日期 1986.02.21
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUNCHEN 发明人 STECKHAN, H. HANS, DIPL.-PHYS.
分类号 H01L21/48;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60;H01L23/48 主分类号 H01L21/48
代理机构 代理人
主权项
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