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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6282749(U)
申请公布日期
1987.05.27
申请号
JP19850175469U
申请日期
1985.11.13
申请人
发明人
分类号
H01L21/822;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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