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发明名称
VERFAHREN ZUR QUALITAETSKONTROLLE VON AUF ISOLIERENDER UNTERLAGE ERZEUGTEN HALBLEITERSCHICHTEN
摘要
申请公布号
DD246194(A1)
申请公布日期
1987.05.27
申请号
DD19860287175
申请日期
1986.02.20
申请人
VEB HALBLEITERWERK,DD
发明人
RUDOLPH,JUERGEN,DD;HUNGER,BERND,DD;BANISCH,ROLF,DD;TILLACK,BERND,DD
分类号
G01N27/04;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01N27/04
代理机构
代理人
主权项
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