发明名称 VERFAHREN ZUR QUALITAETSKONTROLLE VON AUF ISOLIERENDER UNTERLAGE ERZEUGTEN HALBLEITERSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD246194(A1) 申请公布日期 1987.05.27
申请号 DD19860287175 申请日期 1986.02.20
申请人 VEB HALBLEITERWERK,DD 发明人 RUDOLPH,JUERGEN,DD;HUNGER,BERND,DD;BANISCH,ROLF,DD;TILLACK,BERND,DD
分类号 G01N27/04;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N27/04
代理机构 代理人
主权项
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