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发明名称
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申请公布号 DE3538328(C2) 申请公布日期 1987.05.27
申请号 DE19853538328 申请日期 1985.10.28
申请人 GENERAL ELECTRIC CO., SCHENECTADY, N.Y., US 发明人 STOLL, ROBERT WINSTON, SCHENECTADY, N.Y., US;MACLAURY, MICHAEL RISLEY, REXFORD, N.Y., US;WILSON, RONALD HARVEY, SCHENECTADY, N.Y., US
分类号 C23C16/02;C23C16/04;C23C16/14;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3105;(IPC1-7):C23C16/02 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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