| 发明名称 |
Charged particle energy analyser. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0223520(A1) |
申请公布日期 |
1987.05.27 |
| 申请号 |
EP19860308683 |
申请日期 |
1986.11.07 |
| 申请人 |
VG INSTRUMENTS GROUP LIMITED |
发明人 |
ROCKETT, PETER |
| 分类号 |
G01Q70/10;H01J49/48;(IPC1-7):H01J49/48;H01J37/252 |
主分类号 |
G01Q70/10 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
