| 发明名称 |
HIGHER UNIFORMITY IN OUTPUT ILLUMINATION OF OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62115119(A) |
申请公布日期 |
1987.05.26 |
| 申请号 |
JP19860223927 |
申请日期 |
1986.09.24 |
| 申请人 |
AMERICAN SEMICONDUCTOR EQUIP TECHNOL |
发明人 |
SANGUMATSUKU RII;SANTO JIYOSEFU GURIRO |
| 分类号 |
G02B27/00;G02B3/00;G02B5/02;G02B19/00;G02B27/18;G03B27/54;G03F7/20;H01L21/30 |
主分类号 |
G02B27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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