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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6220320(Y2) 申请公布日期 1987.05.23
申请号 JP19780161240U 申请日期 1978.11.22
申请人 发明人
分类号 H01L31/04;B44C3/00;B44C5/06;B44C5/08;H01L31/00;(IPC1-7):B44C3/00 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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