| 发明名称 |
PROCEDE DE GRAVURE DE MATERIAUX ORGANIQUES PAR PLASMA |
| 摘要 |
<P>LE PROCEDE DE GRAVURE DE MATERIAUX ORGANIQUES PAR PLASMA SELON LA PRESENTE INVENTION UTILISE UN REACTEUR GRANDE VITESSE HAUTE PRESSION DANS DES CONDITIONS NORMALES. LE MELANGE GAZEUX EST UN MELANGE D'HYDROGENE ET D'ARGON. ON ARRIVE AINSI A OBTENIR UNE GRAVURE PARFAITEMENT ANISOTROPE D'UNE COUCHE DE RESINE 2 REVETUE D'UNE COUCHE MINCE MINERALE 3. UN LEGER REDEPOT 7 SUR LES PAROIS DES ZONES GRAVEES CONTRIBUE A L'OBTENTION D'UNE EXCELLENTE ANISOTROPIE.</P><P>APPLICATION A LA FABRICATION DES COMPOSANTS SEMICONDUCTEURS.</P>
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| 申请公布号 |
FR2590405(A1) |
申请公布日期 |
1987.05.22 |
| 申请号 |
FR19850017486 |
申请日期 |
1985.11.21 |
| 申请人 |
PONS MICHEL |
发明人 |
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| 分类号 |
G03F7/36;H01L21/311;(IPC1-7):H01J37/317;H01L21/312 |
主分类号 |
G03F7/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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