发明名称 |
LOW TEMPERATURE PLASMA TREATMENT METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS62110973(A) |
申请公布日期 |
1987.05.22 |
申请号 |
JP19850247268 |
申请日期 |
1985.11.06 |
申请人 |
HIRAOKA & CO LTD |
发明人 |
OBAYASHI TSUTOMU;INO KAZUHIDE |
分类号 |
D06M10/00;B29B13/00;C08J7/00;D06M10/02;D06M15/423 |
主分类号 |
D06M10/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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