| 发明名称 |
APPARATUS FOR TREATING WORKS WITH GASEOUS PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62109986(A) |
申请公布日期 |
1987.05.21 |
| 申请号 |
JP19860219108 |
申请日期 |
1986.09.17 |
| 申请人 |
MACHINE TECHNOL INC |
发明人 |
JIYON EDOWAADO SUPENSAA;RICHIYAADO ARAN BORERU;KENESU ERUGIN RINKUSUUIRAA;ANDORIYUU MIRAADO HOTSUFU |
| 分类号 |
C23F4/00;G03F7/36;G03F7/42;H01J37/32 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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