| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM SCHUTZ VON POLIERTEN SILICIUMOBERFLAECHEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3540469(A1) |
申请公布日期 |
1987.05.21 |
| 申请号 |
DE19853540469 |
申请日期 |
1985.11.14 |
| 申请人 |
WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH |
发明人 |
LAMPERT,INGOLF |
| 分类号 |
C30B33/00;C23C16/02;C23C16/22;C23C16/40;C30B33/10;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/312;(IPC1-7):C30B33/00;C30B29/06 |
主分类号 |
C30B33/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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