| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN VON METALLMUSTERN ZUR VERWENDUNG IN INTEGRIERTEN SCHALTUNGEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3639079(A1) |
申请公布日期 |
1987.05.21 |
| 申请号 |
DE19863639079 |
申请日期 |
1986.11.14 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC CO. |
发明人 |
SHENG LIU,YUNG;PAUL YAKYMYSHYN,CHRISTOPHER |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L21/268;H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;C23C16/46 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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