PRUEFMUSTER UND VERFAHREN ZUR SCHNELLEN BESTIMMUNG LATERALER MASSABWEICHUNGEN VON STRUKTURBREITEN,申请号DD19860286783-传众专利搜索

发明名称	PRUEFMUSTER UND VERFAHREN ZUR SCHNELLEN BESTIMMUNG LATERALER MASSABWEICHUNGEN VON STRUKTURBREITEN
摘要
申请公布号	DD245982(A1)	申请公布日期	1987.05.20
申请号	DD19860286783	申请日期	1986.02.05
申请人	VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,DD	发明人	KOERNER,INGRID,DD;SCHOLTZ,DIETMAR,DD
分类号	H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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