| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING A DEVICE BY EVAPORATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0031918(B1) |
申请公布日期 |
1987.05.20 |
| 申请号 |
EP19800107812 |
申请日期 |
1980.12.11 |
| 申请人 |
NIPPON HOSO KYOKAI |
发明人 |
TAKETOSHI, KAZUHISA;OGUSU, CHIHAYA |
| 分类号 |
H01L21/365;C23C14/00;H01L21/203;H01L21/363;H01L31/00;H01L31/18;(IPC1-7):H01L21/363;C23C14/24 |
主分类号 |
H01L21/365 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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