发明名称 LASER MULTILAYER WIRING
摘要
申请公布号 JPS62109397(A) 申请公布日期 1987.05.20
申请号 JP19850248823 申请日期 1985.11.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOMURO MATAHIRO;KOZONO YUZO;KUDO KAZUE;KURODA TETSUMICHI;NARUSHIGE SHINJI;HANAZONO MASANOBU
分类号 H01L21/3205;B23K26/00;H01B5/14;H01B13/00;H05K3/08;H05K3/46 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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