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Système de joint et de soupape destiné à être utilisé avec des réactifs ultrapurs pour des semi-conducteurs, le joint comprenant une cloison multicouche (30, 36) composée d'un polymère inerte, d'un métal noble et d'un polymère d'étanchéité, la soupape comportant un organe de soupape (50) comprenant une aiguille (90) et un actuateur (80-82), la soupape entourant totalement le joint et permettant l'évacuation de l'air en contact avec le joint et le perçage du joint avec une aiguille, sans exposer le joint ou le contenu du récipient à l'atmosphère externe. |
