| 发明名称 |
FORMATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE STRUCTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS62105445(A) |
申请公布日期 |
1987.05.15 |
| 申请号 |
JP19860193004 |
申请日期 |
1986.08.20 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
KURAUSU DEIITORITSUHI BEIYAA;BIKUTAA JIYOSEFU SHIRUBESUTORI |
| 分类号 |
H01L21/76;H01L21/225;H01L21/74;H01L21/763;H01L29/41 |
主分类号 |
H01L21/76 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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