发明名称 FORMATION OF SEMICONDUCTOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS62105444(A) 申请公布日期 1987.05.15
申请号 JP19860193001 申请日期 1986.08.20
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 UENDERU FUIRITSUPUSU NOOBURU JIYUNIA;ROI EDOUIN SHIEUEARAIN;UIRIAMU UOOREN UOOKAA
分类号 H01L21/76;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/762;H01L27/10;H01L27/105 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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