VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUMOXIDSCHICHTEN.,申请号AT19830100646T-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SILIZIUMOXIDSCHICHTEN.
摘要
申请公布号	AT27206(T)	申请公布日期	1987.05.15
申请号	AT19830100646T	申请日期	1983.01.25
申请人	SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT BERLIN UND MUENCHEN	发明人	GRASSER, LEO, DIPL.-PHYS.
分类号	H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316	主分类号	H01L21/316
代理机构		代理人
主权项
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