| 发明名称 |
IMPROVEMENTS IN OR RELATING TO METHODS AND APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR COMPONENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1240972(A) |
申请公布日期 |
1971.07.28 |
| 申请号 |
GB19700009857 |
申请日期 |
1970.03.02 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
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| 分类号 |
G02C7/10;H01L21/00;H01L21/24 |
主分类号 |
G02C7/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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