发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS62104053(A) 申请公布日期 1987.05.14
申请号 JP19860190674 申请日期 1986.08.15
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 RICHIYAADO KEI URURITSUHI;JIYON II SUPENSAA;BAATO RIEMENSUKUNAIDAA
分类号 H01L23/522;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/314;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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