| 发明名称 |
COMPLEX MOTION MECHANISM FOR THIN FILM COATING APPARATUSES |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
US3598083(A) |
申请公布日期 |
1971.08.10 |
| 申请号 |
USD3598083 |
申请日期 |
1969.10.27 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES |
发明人 |
ROBERT F. DORT;JAMES R. SKINNER;HANY E. COTTRELL |
| 分类号 |
C23C14/50;(IPC1-7):C23C11/00 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
