发明名称 INTERFEROMETRICALLY CONTROLLED STAGE WITH PRECISELY ORTHOGONAL AXES OF MOTION
摘要
申请公布号 IE51989(B1) 申请公布日期 1987.05.13
申请号 IE19800000557 申请日期 1980.03.18
申请人 EATON CORPORATION 发明人
分类号 G01S17/02;G05D3/12;(IPC1-7):G05D3/12 主分类号 G01S17/02
代理机构 代理人
主权项
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