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发明名称
INTERFEROMETRICALLY CONTROLLED STAGE WITH PRECISELY ORTHOGONAL AXES OF MOTION
摘要
申请公布号
IE51989(B1)
申请公布日期
1987.05.13
申请号
IE19800000557
申请日期
1980.03.18
申请人
EATON CORPORATION
发明人
分类号
G01S17/02;G05D3/12;(IPC1-7):G05D3/12
主分类号
G01S17/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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