发明名称 SAMPLING PLASMA INTO A VACUUM CHAMBER
摘要
申请公布号 EP0199455(A3) 申请公布日期 1987.05.13
申请号 EP19860301974 申请日期 1986.03.18
申请人 MDS HEALTH GROUP LIMITED 发明人 DOUGLAS, DONALD JAMES
分类号 G01N27/62;H01J49/04;H01J49/10;(IPC1-7):H01J49/04 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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