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发明名称 SPUTTER ION PLATING
摘要
申请公布号 GB2182350(A) 申请公布日期 1987.05.13
申请号 GB19860015776 申请日期 1986.06.27
申请人 * UNITED KINGDOM ATOMIC ENERGY AUTHORITY 发明人 DR JOSEPH PAUL * COAD;DAVID STAFFORD * RICKERBY;PHILIP * WARRINGTON;JAMES EDWARD * RESTALL
分类号 C23C14/16;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/14;C22C30/00;C23C14/34 主分类号 C23C14/16
代理机构 代理人
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