PROCESS FOR FABRICATING INTEGRATED OPTICAL DEVICES ON LITHIUM NIOBATE.

摘要

Processus de production de circuits intégrés optiques sur des substrats de niobate de lithium, dans lequel la composition des substrats de niobate de lithium est ajustée par un procédé d'équilibrage à lit pulvérulent. Ce procédé consiste à exposer les cristaux de niobate de lithium à un lit pulvérulent dans un creuset pendant un traitement thermique. Un procédé similaire est utilisé pendant la production de circuits intégrés optiques pour maintenir le rapport Li/Nb désiré dans le substrat.