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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6273543(U)
申请公布日期
1987.05.11
申请号
JP19850163929U
申请日期
1985.10.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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