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发明名称 BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6298626(A) 申请公布日期 1987.05.08
申请号 JP19850238195 申请日期 1985.10.24
申请人 SHINKAWA LTD;TOSHIBA CORP 发明人 SUZUKI YASUNOBU;TAKEI TAKASHI;TAMAI KOICHI
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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