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发明名称
APPEARANCE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6298636(A)
申请公布日期
1987.05.08
申请号
JP19850237423
申请日期
1985.10.25
申请人
HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD;HITACHI LTD
发明人
TOYOOKA MORIO
分类号
H01L21/66;G01B11/24
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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