发明名称 APPEARANCE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6298636(A) 申请公布日期 1987.05.08
申请号 JP19850237423 申请日期 1985.10.25
申请人 HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD;HITACHI LTD 发明人 TOYOOKA MORIO
分类号 H01L21/66;G01B11/24 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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