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发明名称 VACUUM CHUCK
摘要
申请公布号 JPS6299039(A) 申请公布日期 1987.05.08
申请号 JP19850236834 申请日期 1985.10.23
申请人 NISSHIN KOGYO KK 发明人 NISHIO KIYOSHI
分类号 H01L21/683;B23Q3/08;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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