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发明名称 VERFAHREN UND REAKTOR ZUM CHEMISCHEN AUFDAMPFEN
摘要
申请公布号 DE3634129(A1) 申请公布日期 1987.05.07
申请号 DE19863634129 申请日期 1986.10.07
申请人 EPSILON LTD. 发明人 JOHNSON,WAYNE;Z. BULKELEY,PETER;ROBINSON,MCDONALD;B. DEBOER,WIEBE;W. READ,GARY;F. WENGERT,JOHN
分类号 C23C16/46;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;(IPC1-7):C23C16/46 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
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