发明名称 SPUTTERING FILMS OF METAL ALLOY OXIDE
摘要
申请公布号 AU561315(B2) 申请公布日期 1987.05.07
申请号 AU19850048390 申请日期 1985.10.08
申请人 PPG INDUSTRIES, INC. 发明人 FRANK HOWARD GILLERY
分类号 H01B5/14;C03C17/36;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/18;G02B1/10;G02B1/11;G02B5/20;G02B5/26;H01B13/00;(IPC1-7):C23C14/14;C23C14/34;B32B15/01;B32B15/04 主分类号 H01B5/14
代理机构 代理人
主权项
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