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发明名称 Verfahren zum Polieraetzen von Halbleiterscheiben
摘要
申请公布号 DE1696132(A1) 申请公布日期 1971.11.04
申请号 DE1968B096865 申请日期 1968.02.29
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 HENNINGES,KARIN GRAEBER GEB.
分类号 C23F1/24 主分类号 C23F1/24
代理机构 代理人
主权项
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