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发明名称
METHOD AND INSTRUMENT FOR MEASURING SURFACE SHAPE
摘要
申请公布号
JPS6298206(A)
申请公布日期
1987.05.07
申请号
JP19850237576
申请日期
1985.10.25
申请人
OLYMPUS OPTICAL CO LTD
发明人
SEKIGUCHI SHURI;MORI TAKUMI;KATO MASAHIKO
分类号
G01B11/24
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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