发明名称 DEVICE FOR GENERATING CONTROL PULSES FOR CORPUSCLE BEAM
摘要
申请公布号 SU1309036(A1) 申请公布日期 1987.05.07
申请号 SU19827772471 申请日期 1982.06.03
申请人 ZEISS JENA VEB CARL 发明人 EJKHKHORN KHANS-GYUNTER;GRAMSS YURGEN
分类号 G05B15/02;H01J37/302 主分类号 G05B15/02
代理机构 代理人
主权项
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