发明名称 DEVICE FOR DETERMINING SUBSTANCE CHANGING CAPACITANCE OF SEMICONDUCTOR AND USAGE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6298245(A) 申请公布日期 1987.05.07
申请号 JP19860194105 申请日期 1986.08.21
申请人 MOL DEBAISUIZU CORP 发明人 DEIIN GEERII HAFUMAN;HAADEN MAASUDEN MAKONNERU
分类号 G01N27/00;G01N27/22;G01N33/543 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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