发明名称 |
DEVICE FOR DETERMINING SUBSTANCE CHANGING CAPACITANCE OF SEMICONDUCTOR AND USAGE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6298245(A) |
申请公布日期 |
1987.05.07 |
申请号 |
JP19860194105 |
申请日期 |
1986.08.21 |
申请人 |
MOL DEBAISUIZU CORP |
发明人 |
DEIIN GEERII HAFUMAN;HAADEN MAASUDEN MAKONNERU |
分类号 |
G01N27/00;G01N27/22;G01N33/543 |
主分类号 |
G01N27/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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