发明名称 MOS TYPE SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS6298246(A) 申请公布日期 1987.05.07
申请号 JP19850240065 申请日期 1985.10.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 TERASAWA TOMIZO;ARAKAWA MASAO
分类号 H01L29/78;G01N27/00;H01L21/336;H01L21/56;H01L21/66 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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