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发明名称 METHOD FOR PATTERN FORMATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6297334(A) 申请公布日期 1987.05.06
申请号 JP19850238350 申请日期 1985.10.23
申请人 SHARP CORP 发明人 KUROTOBI MAKOTO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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