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发明名称 DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6297329(A) 申请公布日期 1987.05.06
申请号 JP19850236455 申请日期 1985.10.24
申请人 ULVAC CORP 发明人 ISHIBASHI AKIRA;NAKAMURA KYUZO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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