发明名称 DRYING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6297337(A) 申请公布日期 1987.05.06
申请号 JP19850238014 申请日期 1985.10.24
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHITSUPOU OSAMU
分类号 F26B7/00;H01L21/304 主分类号 F26B7/00
代理机构 代理人
主权项
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