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发明名称
WIRING AND FORMING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
JPS6297349(A)
申请公布日期
1987.05.06
申请号
JP19850236477
申请日期
1985.10.24
申请人
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL
发明人
KOZUKA MICHI
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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