发明名称 WIRING AND FORMING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6297349(A) 申请公布日期 1987.05.06
申请号 JP19850236477 申请日期 1985.10.24
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 KOZUKA MICHI
分类号 H01L21/768 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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