发明名称 VAPOR-PHASE AXIAL DEPOSITION SYSTEM
摘要
申请公布号 EP0105926(B1) 申请公布日期 1987.05.06
申请号 EP19830901859 申请日期 1983.04.22
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 ANDREJCO, MATTHEW JULIUS;POTKAY, EUGENE
分类号 B08B15/04;C03B37/014;(IPC1-7):B01D53/00;F23D11/12;C03B19/00 主分类号 B08B15/04
代理机构 代理人
主权项
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