发明名称 FORMATION OF METALLIC PATTERN
摘要
申请公布号 JPS6295856(A) 申请公布日期 1987.05.02
申请号 JP19850235476 申请日期 1985.10.23
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 NIKAWA HIDEO;TODOKORO YOSHIHIRO
分类号 H01L21/3205 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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