| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6295813(A) |
申请公布日期 |
1987.05.02 |
| 申请号 |
JP19850235141 |
申请日期 |
1985.10.23 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAMURA MASAO;KASHU NOBUYOSHI;WADA YASUO;OKURA OSAMU;YADORI SHOJI;SHINTANI AKIRA;OYU SHIZUNORI |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/265;H01L21/324;H01L27/00 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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