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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6295847(A) 申请公布日期 1987.05.02
申请号 JP19850236602 申请日期 1985.10.22
申请人 NEC CORP 发明人 KOMATSU MICHIO
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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