发明名称 |
LARGE-SIZE PLANE PRIMARY STANDARD HOLOGRAM INTERFEROMETER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6295430(A) |
申请公布日期 |
1987.05.01 |
申请号 |
JP19850236181 |
申请日期 |
1985.10.22 |
申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
MATSUDA JOJI |
分类号 |
G03H1/00;G01J3/45;G01M11/00;G01M11/02 |
主分类号 |
G03H1/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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