发明名称 LARGE-SIZE PLANE PRIMARY STANDARD HOLOGRAM INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPS6295430(A) 申请公布日期 1987.05.01
申请号 JP19850236181 申请日期 1985.10.22
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 MATSUDA JOJI
分类号 G03H1/00;G01J3/45;G01M11/00;G01M11/02 主分类号 G03H1/00
代理机构 代理人
主权项
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