发明名称 CASSETTE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS6269530(U) 申请公布日期 1987.05.01
申请号 JP19850161981U 申请日期 1985.10.22
申请人 发明人
分类号 E04D13/15;E04F11/18;(IPC1-7):E04F11/18 主分类号 E04D13/15
代理机构 代理人
主权项
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