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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6294916(A) 申请公布日期 1987.05.01
申请号 JP19850235749 申请日期 1985.10.21
申请人 NEC CORP 发明人 KITAJIMA HIROSHI;OGURA ATSUSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/263;H01L21/84 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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